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東莞百瑞自動(dòng)化有限公司
專注開發(fā)精密、數(shù)據(jù)化、智能化的電池測(cè)試設(shè)備
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專注開發(fā)精密、數(shù)據(jù)化、智能化的電池測(cè)試設(shè)備
儀器由測(cè)試臺(tái)、四探針頭、電腦、軟件等組成。
四探針電阻測(cè)試儀有常規(guī)電阻量程用于測(cè)量薄片、膜類、塊狀、棒類等材料的電導(dǎo)率、電阻率、方塊電阻、薄膜厚度等參數(shù)，如玻璃或陶瓷上導(dǎo)電薄膜（ITO）厚度或方塊電阻、硅片和半導(dǎo)體電阻率，薄片金屬、導(dǎo)電橡膠和防靜電材料電導(dǎo)率等。也有高電阻量程、雙電測(cè)方式、帶厚度感應(yīng)器等不同組合的電阻測(cè)試儀，可據(jù)需要選用適合款式。四探針測(cè)量方式的優(yōu)點(diǎn)是消除了探針和樣品接觸電阻的影響。
厚度參數(shù)有通過已知材料的電阻率，通過方阻算出導(dǎo)電膜厚度，適合純凈材料的測(cè)試。也可直接通過亞微米級(jí)精度的厚度感應(yīng)器在測(cè)電阻的同時(shí)測(cè)量出膜類材料的厚度，確保厚度和電阻測(cè)量在樣品同一位置，特別適合不均勻膜類和片類材料的測(cè)量。同時(shí)，半自動(dòng)的厚度測(cè)量和記錄避免了人為誤差，能獲得更高的精度，也滿足了實(shí)驗(yàn)室智能化、數(shù)據(jù)化的發(fā)展方向。這功能為國內(nèi)首創(chuàng)。
運(yùn)用直線或方形四探針，按改進(jìn)性范德堡測(cè)量方法測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器，符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》，并參考美國 ASTM 標(biāo)準(zhǔn)。可測(cè)材料的電阻率、方阻及對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度，也可測(cè)元器件的接觸電阻。
| 名稱 | 常規(guī)電阻30MΩ |
高電阻 1200MΩ |
雙電測(cè) | 厚度測(cè)量 | 計(jì)算厚度 | 溫度測(cè)量 | 壓力 | 腳踏開關(guān) |
| 四探針電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | |||||
| 四探針高電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | |||||
| 四探針雙電測(cè)電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | √ | √ | |||
| 四探針雙電測(cè)高電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | √ | √ | |||
| 四探針雙電測(cè)厚度電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | ||
| 四探針雙電測(cè)厚度高電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | √ | √ | 選配 | √ | |
| 四探針方塊電阻測(cè)試儀 | √ | √ | √ | 選配 | √ |
| 電阻測(cè)量范圍 | 0.1μΩ~1200MΩ |
| 電阻測(cè)試精度 | 0.02%FS |
| 電阻最小分辨率 | 0.01μΩ |
| 探針壓力 | 20~300g |
| 溫度測(cè)量范圍 | -10~100℃ |
| 功率 | 20W |
| 測(cè)試平臺(tái)尺寸 | 385mm（長）*249mm（寬）*102mm（高） |
貼片元件制造，測(cè)試平臺(tái)為高耐磨高絕緣性材料制造，穩(wěn)定可靠、精度更高，電阻量程大
選配不同探頭，可測(cè)試多種材料，高耐磨碳化鎢探針探頭可測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上不同測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
| 電阻測(cè)量范圍 | 0.1μΩ~30MΩ |
| 電阻測(cè)試精度 | 0.05%FS |
| 電阻最小分辨率 | 0.01μΩ |
| 探針壓力 | 20~300g |
| 溫度測(cè)量范圍 | 0~100℃ |
| 功率 | 20W |
| 測(cè)試平臺(tái)尺寸 | 385mm（長）*249mm（寬）*102mm（高） |
除基本特點(diǎn)外，有雙電測(cè)功能，消除了樣品邊緣和探針間距不準(zhǔn)帶來的誤差
選配不同探頭，可測(cè)試多種材料，高耐磨碳化鎢探針探頭可測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上不同測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
| 電阻測(cè)量范圍 | 0.1μΩ~1200MΩ |
| 電阻測(cè)試精度 | 0.02%FS |
| 電阻最小分辨率 | 0.01μΩ |
| 探針壓力 | 20~300g |
| 溫度測(cè)量范圍 | -10~100℃ |
| 功率 | 20W |
| 測(cè)試平臺(tái)尺寸 | 385mm（長）*249mm（寬）*102mm（高） |
除基本特點(diǎn)外，有雙電測(cè)功能，消除了樣品邊緣和探針間距不準(zhǔn)帶來的誤差，量程大，更廣的測(cè)試范圍，特別適合檢測(cè)機(jī)構(gòu)研究所等電阻范圍變化較大的單位使用
選配不同探頭，可測(cè)試多種材料，高耐磨碳化鎢探針探頭可測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上不同測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
| 電阻測(cè)量范圍 | 0.1μΩ~30MΩ |
| 電阻測(cè)試精度 | 0.05%FS |
| 電阻最小分辨率 | 0.01μΩ |
| 探針壓力 | 20~300g |
| 溫度測(cè)量范圍 | 0~100℃ |
| 功率 | 20W |
| 厚度測(cè)量范圍 | 0~10mm |
| 精度 | 1μm |
| 厚度分辨率 | 0.01μm |
| 尺寸 | 385mm（長）*249mm（寬）*102mm（高） |
高精度穩(wěn)定可靠外，有雙電測(cè)功能消除樣品和探針間距帶來的誤差，同時(shí)在測(cè)電阻的同時(shí)可測(cè)樣品厚度，避免手工輸入的錯(cuò)誤，同時(shí)可確保厚度和電阻在樣品同一位置取值，避免樣品厚度不均勻帶來的測(cè)試誤差。
選配不同探頭，可測(cè)試多種材料，高耐磨碳化鎢探針探頭可測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上不同測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
| 電阻測(cè)量范圍 | 0.1μΩ~1200MΩ |
| 電阻測(cè)試精度 | 0.02%FS |
| 電阻最小分辨率 | 0.01μΩ |
| 探針壓力 | 20~300g |
| 溫度測(cè)量范圍 | -10~100℃ |
| 功率 | 20W |
| 尺寸 | 385mm（長）*249mm（寬）*102mm（高） |
高精度穩(wěn)定可靠外，有雙電測(cè)功能消除樣品和探針間距帶來的誤差，同時(shí)在測(cè)電阻的同時(shí)可測(cè)樣品厚度，避免手工輸入的錯(cuò)誤，同時(shí)可確保厚度和電阻在樣品同一位置取值，避免樣品厚度不均勻帶來的測(cè)試誤差。
選配不同探頭，可測(cè)試多種材料，高耐磨碳化鎢探針探頭可測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上不同測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
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